5月14日,沈阳市科技局对沈阳仪表院承担的项目“12英寸IC专用芯片划片工艺装备研制”进行了科技成果鉴定。鉴定委员会专家组听取了项目组所做的工作总结报告和技术报告等,审查了相关技术资料,考察了研制现场及实物,一致同意项目通过科技成果鉴定。
“12英寸IC专用芯片划片工艺装备研制”项目研制出了国内首台全自动、龙门式12英吋砂轮划片机。最高累积步进精度可达2μm/310mm,主轴最高转速41000r/min。项目提出了图像自对准技术、非接触对刀技术及刀片破损检测技术,提高了制造精度和效率;采用了数据结构模块化设计,节省了程序判断时间,进一步提高了加工效率;集成了B.B.D.和N.C.S.等先进划片机技术,提高了制造工艺的适应性;采用了主从式系统控制结构,实现了12轴高精度联动。项目成果具有自主知识产权,填补了国内空白,整体技术水平达到国际先进水平,对推动行业技术进步,增强产品市场竞争力,具有重要的促进作用。