国家传感器工程研究中心

国家传感器工程研究中心设在沈阳仪表科学研究院，主要从事固态传感器的微机械加工技术以及其他相关的工程化开发条件和综合验证系统的研究和开发，拥有中束流离子注入机、反应离子刻蚀和PECVD系统、LPCVD等国际先进的设备和研究手段。

• 用于压力传感器研究的离子注入机、双面光刻机、反应离子刻蚀和PECVD系统，处于国际先进水平

• 厚膜温度传感器研究的激光调阻机，处于国际先进水平

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